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《微電子千級潔凈室振動隔離技術(shù)深度解析》

作者： 點擊：156 發(fā)布時間：2025-06-19


光刻機要求環(huán)境振動速度≤1μm/s。某晶圓廠采用：①160mm厚混凝土浮筑地板（固有頻率≤8Hz）；②空氣彈簧隔震器（隔振效率≥95%）；③設(shè)備基座加裝惰性塊（質(zhì)量比1:1.5），終將振動控制在0.7μm/s


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