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《柔性屏生產(chǎn)潔凈室AMC（氣態(tài)分子污染物）控制策略》

作者：點(diǎn)擊：171 發(fā)布時(shí)間：2025-06-19

OLED制造對(duì)有機(jī)胺類污染物敏感。某面板廠部署：①化學(xué)過濾器（胺類去除率≥95%）；②分子篩吸附裝置（壽命≥6個(gè)月）；③尾氣焚燒系統(tǒng)（溫度≥800℃），終使TVOC＜50μg/m3.

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